Entegris 化学过滤器CMP系列_供应产品

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经营范围：Entegris电磁阀，Entegris计量阀，Entegris压力传感器

主营行业：

所在地区：美国

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Entegris 化学过滤器CMP系列

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详细信息

　　VaporSorb CMP 化学空气过滤器可针对 22 nm 及以下的各种空气分子污染物提供全面保护。保护工艺设备和晶圆免受空气分子污染的破坏性影响

　　防止 22 nm 及以下波长的 AMC

　　平衡介质混合物以针对酸性污染物

　　去除关键的酸、碱和有机物，以降低污染风险

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